本發(fā)明提出一種微機(jī)械的氣體傳感器裝置和一種相應(yīng)的制造方法。該微機(jī)械的氣體傳感器裝置包括:襯底;設(shè)置在襯底上的多孔區(qū)域,該多孔區(qū)域帶有背離襯底的頂面、面向襯底的底面、側(cè)面,該側(cè)面可被要感測(cè)的氣體流過;至少局部地遮蓋頂面的覆蓋區(qū)域,其中,該覆蓋區(qū)域具有一個(gè)或多個(gè)氣體輸入通道,經(jīng)由所述氣體輸入通道可把氣體引入到多孔區(qū)域內(nèi);用于產(chǎn)生電磁信號(hào)的信號(hào)產(chǎn)生機(jī)構(gòu),所述電磁信號(hào)可以在多孔區(qū)域內(nèi)部的氣體中傳播;用于在氣體中傳播之后接收電磁信號(hào)的信號(hào)接收機(jī)構(gòu);和分析機(jī)構(gòu),用來基于電磁信號(hào)在氣體中傳播時(shí)的變化來獲取氣體的至少一個(gè)化學(xué)的或物理的參數(shù)。
聲明:
“微機(jī)械的氣體傳感器裝置和相應(yīng)的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)