本發(fā)明提供一種熱絲CVD金剛石設(shè)備燈絲的排列方法,具體包括以下步驟:準(zhǔn)備熱絲若干N,熱絲設(shè)置在基體的上端部,基體設(shè)置在底板的上端部,熱絲間距Tw由中間向兩邊的熱絲間距各不相同;對(duì)底板上的基體進(jìn)行酸堿腐蝕處理;處理后的基體放進(jìn)化學(xué)氣相沉積設(shè)備,進(jìn)行金剛石涂層沉積;觀察基體四個(gè)不同位置的金剛石微觀形貌,分析金剛石純度及晶粒取向,測(cè)試金剛石涂層與基體的結(jié)合強(qiáng)度,以及中心基體的金剛石微觀形貌及純度。本發(fā)明提供的熱絲CVD金剛石設(shè)備燈絲的排列方法,通過(guò)改善燈絲的排列方式,使得沉積腔室內(nèi)溫度分布均勻,在進(jìn)行大批量的工業(yè)化生產(chǎn)時(shí),所制得的CVD金剛石薄膜產(chǎn)品表面形貌以及內(nèi)應(yīng)力的分布更為均勻。
聲明:
“熱絲CVD金剛石設(shè)備燈絲的排列方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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