本發(fā)明公開了一種碳化硅基集成微型化磁通門傳感器,包括碳化硅襯底、激勵線圈、檢測線圈、磁芯、電極和碳化硅薄膜;其中矩形磁芯位于碳化硅襯底表面的矩形凹槽內,磁芯上表面與碳化硅襯底表面平齊;激勵線圈和檢測線圈均為微機電三維螺線管線圈,激勵線圈和檢測線圈的底層線圈位于矩形凹槽底部的微槽陣列內,底層線圈的通電導線之間由微槽陣列間隙的碳化硅襯底絕緣,底層線圈通過化學氣相沉積碳化硅薄膜與磁芯絕緣;激勵線圈和檢測線圈的頂層線圈通過化學氣相沉積碳化硅薄膜與磁芯絕緣,頂層線圈的通電導線間隙由化學氣相沉積碳化硅薄膜填滿絕緣;傳感器表面由化學氣相沉積碳化硅薄膜覆蓋與空氣隔離保護,并通過通孔露出電極。
聲明:
“微型磁通門傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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