本發(fā)明公開(kāi)了一種基于狹縫波導(dǎo)的光微環(huán)諧振傳感器及其制作方法。利用光刻,氧化,干法腐蝕,SOI技術(shù)等半導(dǎo)體制造工藝,在同一襯底上制作一根基于狹縫結(jié)構(gòu)的直波導(dǎo)和一個(gè)基于狹縫結(jié)構(gòu)的微環(huán)波導(dǎo),其中微環(huán)波導(dǎo)位于直波導(dǎo)的一側(cè),狹縫位于兩波導(dǎo)平面的垂直方向,并制成空腔,微環(huán)內(nèi)環(huán)里側(cè)也刻蝕成空腔,且與狹縫相通。將生物/化學(xué)微流體注入微環(huán)內(nèi)壁里側(cè)空腔,改變了波導(dǎo)包層和狹縫的折射率,利用微環(huán)對(duì)不同折射率分布響應(yīng)的諧振點(diǎn)不同的特性,結(jié)合狹縫波導(dǎo)結(jié)構(gòu),獲得光能量集中,利于傳感檢測(cè)的諧振效果,從而有效地實(shí)現(xiàn)對(duì)不同生物/化學(xué)微流體的傳感檢測(cè)。在信息傳感領(lǐng)域具有重要的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。