亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 在圓片和儀器上形成半導(dǎo)體器件的光刻方法

在圓片和儀器上形成半導(dǎo)體器件的光刻方法

665   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:32:29
利用光刻技術(shù)在圓片上形成半導(dǎo)體器件的方法包括以下幾個步驟:在涂敷裝置(5)內(nèi)的所述圓片上涂上(13)一層光刻涂層;在曝光工具(4)中,透過標(biāo)度線照射對所述圓片進(jìn)行曝光(14);穩(wěn)固(15)所述光刻涂層以激活化學(xué)反應(yīng),并在顯影裝置(6)中的所述預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)沖洗所述光刻涂層以顯出圓片表面的預(yù)設(shè)光刻涂層圖案;在穩(wěn)固裝置(7)內(nèi)穩(wěn)固(16)光刻涂層以加固圓片表面的所述圖案;在測量工具中對所述圓片表面的光刻涂層圖案進(jìn)行(17)測量檢測;在處理單元(9)中對所述圓片進(jìn)行蝕刻、濕制程或離子注入(18),其中,在沖洗和熱烘所述光刻涂層之后,與所述穩(wěn)固裝置(7)相鄰的原子顯微檢測模塊(11)上的原子顯微鏡立即進(jìn)行所述測量檢測。
聲明:
“在圓片和儀器上形成半導(dǎo)體器件的光刻方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記