亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 半導(dǎo)體清洗液管理裝置及方法

半導(dǎo)體清洗液管理裝置及方法

805   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:32:30
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體清洗液管理裝置,包括:儲液單元,用于儲存清洗液;濃度液位檢測單元,用于檢測所述儲液單元中清洗液的濃度及液位,并將檢測到的濃度數(shù)據(jù)及液位數(shù)據(jù)傳輸給所述控制單元;控制單元,用于根據(jù)所述濃度數(shù)據(jù)及液位數(shù)據(jù)生成相應(yīng)的控制信號,并將所述控制信號發(fā)送給所述執(zhí)行單元;執(zhí)行單元,用于根據(jù)所述控制信號執(zhí)行所述儲液單元的清洗液的排放、補(bǔ)充所述儲液單元的化學(xué)藥劑、補(bǔ)充所述儲液單元的水、更換所述儲液單元的清洗液、回收反應(yīng)腔體的清洗液、以及供液給反應(yīng)腔體的動作。本發(fā)明通過與反應(yīng)腔體控制裝置的結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了對清洗液進(jìn)行自動管理,并實(shí)現(xiàn)了在沒有技術(shù)人員對清洗液進(jìn)行管理的情況下,持續(xù)的進(jìn)行清洗工藝。
聲明:
“半導(dǎo)體清洗液管理裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記