本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，包括：工藝區(qū)域；供應(yīng)系統(tǒng)，與工藝區(qū)域相連，用于向工藝區(qū)域供應(yīng)化學(xué)品，使工藝區(qū)域進(jìn)行預(yù)設(shè)工藝步驟；檢測系統(tǒng)，與供應(yīng)系統(tǒng)相連，用于檢測供應(yīng)系統(tǒng)的供應(yīng)狀態(tài)；主控預(yù)警系統(tǒng)，與檢測系統(tǒng)和供應(yīng)系統(tǒng)相連，用于當(dāng)檢測到供應(yīng)系統(tǒng)的供應(yīng)狀態(tài)異常時(shí)，發(fā)出預(yù)警信息并控制供應(yīng)系統(tǒng)繼續(xù)向所述工藝區(qū)域供應(yīng)化學(xué)品，直至工藝區(qū)域完成預(yù)設(shè)工藝步驟。避免了在當(dāng)下現(xiàn)有生產(chǎn)模式中，若檢測到供應(yīng)系統(tǒng)供應(yīng)狀態(tài)異常時(shí)，中止機(jī)臺(tái)功能的設(shè)計(jì)而造成材料報(bào)廢的現(xiàn)象，節(jié)約制造成本。