本發(fā)明公開了一種富銦磷化銦多晶料的循環(huán)利用方法,包括:第一步,對富銦InP多晶分選、切出富銦較輕和嚴(yán)重InP多晶;第二步,對富銦較輕InP多晶化學(xué)腐蝕、清洗及烘干;第三步,拉制InP多晶棒;第四步,第一電學(xué)檢測,分揀出第一電學(xué)參數(shù)合格InP多晶和不合格InP多晶;將合格InP多晶進(jìn)行第五步儲存;第六步,將第一步富銦嚴(yán)重InP多晶和第四步的不合格InP多晶進(jìn)行化學(xué)腐蝕、清洗以及烘干;第七步,水平合成;第八步,第二電學(xué)檢測、分揀出第二電學(xué)參數(shù)合格和不合格InP多晶,合格InP多晶進(jìn)行第五步,不合格的InP多晶積攢,積攢后循環(huán)以上操作。該方法有效循環(huán)利用富銦多晶料,得到高化學(xué)配比度、高純InP多晶,避免了磷化銦單晶原料浪費(fèi),降低生產(chǎn)成本。
聲明:
“富銦磷化銦多晶料的循環(huán)利用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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