本實用新型涉及一種用于化學(xué)機械研磨的研磨墊，該種研磨墊，包括帶有光學(xué)終點檢測窗口的研磨墊基材、研磨墊基材背面的粘貼層以及粘貼層上的背紙，所述背紙包括第一部分背紙和第二部分背紙；更換研磨墊時，研磨墊放置在研磨機臺上且研磨墊的光學(xué)終點檢測窗口對準研磨機臺上的信號窗口，揭去研磨墊上的第一部分背紙黏貼研磨墊固定在研磨機臺上，再揭去研磨墊的第二部分背紙黏貼研磨墊，本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，成本低、易更換，研磨墊的光學(xué)終點檢測窗口準確對準化學(xué)機械研磨機臺上的信號窗口，更換效果好，不產(chǎn)生偏移的優(yōu)點。