采用三元鈦鎳銅形狀記憶合金膜驅(qū)動的弦錐結(jié)構(gòu)微驅(qū)動器及其制備方法,形狀記憶合金驅(qū)動薄膜采用濺射方式沉積,并應(yīng)用MEMS工藝完成條形化電阻設(shè)計。微驅(qū)動器的上、下體結(jié)構(gòu)采用SI刻蝕工藝制備,并實現(xiàn)鍵合焊接,其組成包括:能起到壓力泵作用的上體(2)及閥體作用的下體(3),所述的上體(2)及下體(3)加工成具有壓力泵作用的驅(qū)動腔(4);所述的下體(3)在加工驅(qū)動腔(4)的同時,制成具有單流向閥的閥體擴(kuò)張管(5)和收縮管(6);所述的閥體擴(kuò)張管和收縮管分別與進(jìn)水管道(7)和出水管道(8)相對準(zhǔn)連接,所述的弦錐結(jié)構(gòu)微驅(qū)動器上裝有三元TINICU/SI形狀記憶合金驅(qū)動薄膜(1)。本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于流體微量傳送、集成系統(tǒng)冷卻及微量化學(xué)分析等領(lǐng)域。
聲明:
“采用鈦鎳銅合金膜驅(qū)動的弦錐結(jié)構(gòu)微驅(qū)動器及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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