本發(fā)明公開了一種高溫性能穩(wěn)定的氧敏薄膜及 其制備方法。所述的氧敏薄膜, 是以α≤-Al2O3陶瓷薄片為基片, 其上形成化學(xué)組成為La1-xSrxNi1-yCoyO3化合物所構(gòu)成, 其中0≤x≤0.2, 0≤y≤0.3。該氧敏薄膜采用ISG法制備而成, 即主要包括鹽溶液的配制, 溶液絡(luò)合溶膠化, 在基片涂覆制膜, 薄膜的熱處理及燒結(jié)過程。本發(fā)明氧敏薄膜, 高溫下性能穩(wěn)定、靈敏性高??蓮V泛用做檢測汽車尾氣、窯爐排放煙氣傳感器上的氣敏元件。
聲明:
“高溫性能穩(wěn)定的氧敏薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)