本發(fā)明涉及一種具有轉(zhuǎn)動型加熱器的化學(xué)氣相沉積(CVD)裝置。具體地,本發(fā)明的CVD裝置的有益效果在于,其包括用于轉(zhuǎn)動加熱器的馬達(dá)和用于檢測加熱器的指向位置的位置傳感器組件,使得在沉積時沉積在晶片上的薄膜能夠通過加熱器的轉(zhuǎn)動而形成一致的厚度,而不管反應(yīng)氣體不均勻地流入到反應(yīng)室中,并且能夠確保晶片在沉積過程開始和結(jié)束時的指向位置彼此相同,從而使晶片在加熱器上沿預(yù)定方向定向。
聲明:
“具有轉(zhuǎn)動型加熱器的CVD裝置及其控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)