本發(fā)明公開了一種非晶SI-B-C-N四元陶瓷前驅(qū)物的制備方法及其制該前驅(qū)物的裝置,該制備方法首先采用含乙烯基的氯
硅烷和硼烷為原料制得反應(yīng)中間體,然后向反應(yīng)中間體中通入氨氣交聯(lián)聚合制得非晶SI-B-C-N四元陶瓷前驅(qū)物,制得的前驅(qū)物中經(jīng)紅外光譜檢測未發(fā)現(xiàn)氯化銨。通過該裝置上部設(shè)置的多個接口,以及多孔陶瓷板,能夠較為方便地與外部設(shè)置的多種氣源、冷卻系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、回流系統(tǒng)等進行組合與拆分來制備不同化學(xué)產(chǎn)物。
聲明:
“非晶SI-B-C-N四元陶瓷前驅(qū)物的制備方法及其制該前驅(qū)物的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)