本公開提供了一種柔性微納電極陣列植入式芯片及其制備方法，其中微納電極陣列植入式芯片自下而上順次包括：基底層、導(dǎo)電層和絕緣層；基底層為柔性材料，呈T型結(jié)構(gòu)且前端呈尖狀；導(dǎo)電層形成于基底層上，用于檢測大腦多個(gè)核團(tuán)區(qū)域的雙模神經(jīng)信號(hào)；導(dǎo)電層包括：雙模檢測電極陣列，形成于基底層的前端上，用于檢測大腦多個(gè)核團(tuán)區(qū)域的雙模神經(jīng)信號(hào)；雙模檢測電極陣列包括多個(gè)電生理檢測位點(diǎn)和多個(gè)電化學(xué)敏感檢測位點(diǎn)，分別沿前端縱向設(shè)置且分布于多個(gè)被測核團(tuán)區(qū)域；絕緣層為柔性材料。本公開為長期探測神經(jīng)信號(hào)提供了有效的檢測手段和工具，在減少腦內(nèi)炎癥，探測多個(gè)腦區(qū)，同時(shí)應(yīng)用兩類神經(jīng)信號(hào)進(jìn)行功能定位發(fā)現(xiàn)病灶等方面具有重要的意義。