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用于半導體拋光的納米水性硅溶膠的制備方法

915 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:36:52

本發(fā)明提供一種用于半導體拋光的納米水性硅溶膠的制備方法。在無塵實驗室中，向分析純混合醇溶劑中加入分析純催化劑和高純水，攪拌均勻，配制溶液A；向溶液A中按時按量加入分析純有機硅源，控制硅源加入量隨著反應時間逐級遞減；在25～45℃下攪拌反應5～15h，反應完成后加入高純水，進行蒸發(fā)濃縮，得到高純納米水性硅溶膠。通過控制催化劑的加入量和混合醇的比例，控制硅溶膠在目標粒徑±5nm的范圍內生長；通過控制有機硅源的加入量逐級遞減，使硅溶膠顆粒均勻穩(wěn)定地生長，得到的水性硅溶膠性能穩(wěn)定。根據半導體化學機械拋光液的需求，可調節(jié)成酸性或者堿性，具體為酸性2~4，堿性8~11，調節(jié)pH后，不會影響硅溶膠的穩(wěn)定性。

聲明：

“用于半導體拋光的納米水性硅溶膠的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)