本發(fā)明新型結(jié)構(gòu)的壓電水聽(tīng)器主要包括真空腔，位于真空腔上面的雙層AlN薄膜的壓電結(jié)構(gòu)。位于真空腔上面的壓電層接收到聲波信號(hào)時(shí)，空腔上的薄膜會(huì)產(chǎn)生形變，由于AlN薄膜的壓電效應(yīng)，薄膜表面會(huì)產(chǎn)生極化電荷，從而產(chǎn)生微弱的電信號(hào)，通過(guò)外部的信號(hào)檢測(cè)電路來(lái)檢測(cè)聲波信號(hào)。該水聽(tīng)器由于使用壓電材料AlN薄膜，該壓電薄膜具有聲阻抗低，聲學(xué)耦合高、耐高溫高壓、檢測(cè)頻帶寬和化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。雙層壓電薄膜結(jié)構(gòu)可以充分提高AlN薄膜的壓電性能，基于金屬鉬作為單電極可以簡(jiǎn)化工藝，提高成品率。MEMS水聽(tīng)器聲波信號(hào)監(jiān)測(cè)頻帶寬、靈敏度高、與CMOS兼容、無(wú)毒，適用于深海領(lǐng)域的聲信號(hào)檢測(cè)、生物傳感技術(shù)以及復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中的過(guò)程控制等領(lǐng)域。