本發(fā)明揭露一種評估加工件特性的方法、加工件及形成光感層的方法。評估離子植布加工件特性的方法包含:在基材上形成一光感層,以形成一加工件,該光感層包含一光感材料。接著,在該加工件上進(jìn)行離子植布。對該加工件進(jìn)行輻射。計(jì)算該加工件的一光學(xué)強(qiáng)度。離子植布圖案由光學(xué)強(qiáng)度結(jié)果評估。光感材料的一化學(xué)結(jié)構(gòu)在離子植布時改變。加工件透過恢復(fù)光感材料的化學(xué)結(jié)構(gòu)或是通過化學(xué)物質(zhì)移除離子干擾的光感材料。可加快分析離子植布的時程,且容易觀察,加工件還可回收再利用。
聲明:
“評估加工件特性的方法、加工件及形成光感層的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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