本發(fā)明公開了一種具有高透過高閾值抗激光損傷性能的微納結(jié)構(gòu)激光窗口的制備方法,其步驟包括:(1)利用化學(xué)試劑超聲清洗拋光后的石英玻璃;(2)利用微量注射泵進行聚苯乙烯微球自組裝并將其轉(zhuǎn)移到超聲清洗后的石英玻璃上;(3)利用反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)對帶有聚苯乙烯微球的石英基底進行刻蝕,在石英基底上制備微納結(jié)構(gòu);(4)利用化學(xué)試劑對石英基底進行清洗,除去未完全反應(yīng)的聚苯乙烯微球;(5)對制備的石英微納結(jié)構(gòu)激光窗口進行透過率測試,并利用強激光對其進行輻射檢測其性能,證明具有高透過高閾值抗激光損傷的微納結(jié)構(gòu)激光窗口的成功制備。該方法制備的微納結(jié)構(gòu)激光窗口透過率高,增透波段寬,抗激光損傷性能強,并且方法簡單。
聲明:
“微納結(jié)構(gòu)激光窗口及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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