本發(fā)明公開了一種基于化學(xué)還原氧化
石墨烯薄膜立式微納結(jié)構(gòu)的氣敏傳感器及其制備方法,首先將氧化石墨烯在溶劑中分散,通過(guò)控制還原條件在基底上自組裝得到具有立式微納結(jié)構(gòu)的還原氧化石墨烯薄膜,再采用微加工和剝離技術(shù)在石墨烯表面制備金屬電極,從而得到與基底結(jié)合較好的基于化學(xué)還原氧化石墨烯薄膜立式微納結(jié)構(gòu)的氣敏傳感器;本發(fā)明所得到的具有立式微納結(jié)構(gòu)的化學(xué)還原氧化石墨烯薄膜氣敏傳感器可實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體分子檢測(cè)性能的提高,其制備方法工藝簡(jiǎn)單,適合于氣敏傳感器的批量制備。
聲明:
“氧化石墨烯薄膜立式微納結(jié)構(gòu)氣敏傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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