本發(fā)明公開了一種基于非相干成像邊緣模糊的光學顯微鏡對焦穩(wěn)定方法及系統(tǒng)。本發(fā)明由非相干光照射光闌，分別成像在光學顯微鏡焦面和相機傳感器面附近，相機記錄的光闌成像邊緣徑向強度傳輸至計算機擬合誤差函數(shù)提取自變量系數(shù)作為模糊參數(shù)，由模糊參數(shù)對應顯微鏡物鏡和樣品間距的關系，獲得顯微鏡焦面沿光軸的離焦距離和方向，實現(xiàn)離焦檢測；通過將連接顯微鏡原樣品臺和待測樣品的納米平移臺反向移動，實現(xiàn)樣品的位置快速恢復到顯微鏡焦面，即實現(xiàn)離焦補償。本發(fā)明可對目前廣泛使用的高倍率顯微鏡提供實時、并行地檢測和補償離焦功能，保障其長時間的穩(wěn)定使用，在微納傳感、精密成像及其生物化學探測領域中有廣泛的輔助應用前景。
聲明：
“基于非相干成像邊緣模糊的光學顯微鏡對焦穩(wěn)定方法及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
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編輯：管理員
來源：中冶有色技術網
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2025年03月28日 ~ 30日 
