本發(fā)明涉及一種具有微觀有序納米結(jié)構(gòu)SERS基底及制備方法,屬于光譜分析領(lǐng)域。包括基材,基材表面具有周期性排列的柱狀微納結(jié)構(gòu),柱狀微納結(jié)構(gòu)包括由第一材料構(gòu)成的第一層,由第二材料構(gòu)成的第二層,基材及柱狀微納結(jié)構(gòu)表面包覆由第三材料構(gòu)成的第三層,第三層上沉積的金屬納米顆粒,基材由第一材料構(gòu)成。在硅片上生成SiO
2層,采用自組裝方式將聚苯乙烯膠體球附著在SiO
2層上,通過(guò)退火或反應(yīng)離子刻蝕對(duì)聚苯乙烯膠體球進(jìn)行尺寸調(diào)控;通過(guò)金屬輔助化學(xué)刻蝕或干法刻蝕對(duì)SiO
2介質(zhì)層及對(duì)SiO
2和Si混合納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行刻蝕;在硅片上沉積金,通過(guò)
電化學(xué)法沉積金納米顆粒。此基底靈敏度高、重復(fù)性好、成本低、適用于大規(guī)模生產(chǎn)。
聲明:
“具有微觀有序納米結(jié)構(gòu)SERS基底及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)