本發(fā)明適合于各種含氣裝置或器件作氣體微量 抽樣分析之用。閥門的關鍵部分是一具有孔徑小達 10微米以下的微漏孔的玻璃片。這個微漏孔是通過 高速鉆削、化學腐蝕和電擊穿三道工序制作而成的。 閥門的開閉由一碗狀彈性隔膜帶動一彈性圓塊對微 漏孔進行緊壓封閉和開啟。本發(fā)明具有抽樣氣體極微漏率穩(wěn)定、開閉容易、 不易堵塞、質量岐視小,受環(huán)境溫度影響小等優(yōu)點, 并且具有標準漏孔所具有的特性。
聲明:
“極微流量氣體取樣閥門及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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