本發(fā)明公開了一種超高靈敏度多巴胺生物傳感器及其制備方法,屬于生物傳感器領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)了對多巴胺的快速
電化學(xué)響應(yīng),具有低至0.4pM的檢測限,優(yōu)異選擇性,且工藝簡單、成本低廉,適合臨床診斷和生理功能檢測,特別是活體多巴胺靜態(tài)基礎(chǔ)值的測定。本發(fā)明的多巴胺生物傳感器包括從上至下依次為HfO
2超薄膜、導(dǎo)電硅襯底、Al電極;采用與半導(dǎo)體工藝兼容的熱ALD或等離子體增強(qiáng)ALD在導(dǎo)電硅基底上低溫沉積HfO
2超薄膜;再在硅襯底背面蒸鍍金屬鋁以形成良好的電學(xué)接觸,即獲得了多巴胺生物傳感器。
聲明:
“超高靈敏度多巴胺生物傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)