本實用新型公開了一種電滲流泵,包括泵體,泵體內(nèi)設(shè)有微通道,微通道內(nèi)部充滿電解質(zhì)溶液,通過磁控濺射在每個所述微通道內(nèi)表面蒸鍍一層導(dǎo)電層,再在導(dǎo)電層上沉積一層絕緣層。泵體外部設(shè)有電源裝置,為通道壁面提供可控電勢,通過控制通道壁面的電勢大小和正負(fù),可以方便的控制通道內(nèi)部液體流動的速度、壓強和流向。本實用新型用來提供可控微流量液體和產(chǎn)生一定可控液體壓強,操作模式簡單,控制方便,系統(tǒng)響應(yīng)速度快,可廣泛用于化學(xué)化工、微納米機電系統(tǒng)和生物醫(yī)療器械方面的流體驅(qū)動泵,特別適用于作
芯片微通道的驅(qū)動泵,如處理器芯片的冷卻和分析化學(xué)中的物質(zhì)分離與提純。
聲明:
“電滲流泵” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)