本發(fā)明提供的面向物聯(lián)網(wǎng)的硅基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的MOSFET器件，主要包括N型MOSFET和熱電偶，MOSFET選擇P型Si作為襯底，通過(guò)COMS工藝和MEMS表面微機(jī)械加工實(shí)現(xiàn)具有熱電轉(zhuǎn)換功能的N型MOSFET。在柵極多晶硅四周制作一層二氧化硅并化學(xué)機(jī)械拋光，其上制作若干個(gè)熱電偶。熱電偶包括金屬Al型熱電臂和多晶硅N型熱電臂，蒸鋁連接兩種熱電偶臂，串聯(lián)柵源漏的熱電偶電極，留下兩個(gè)電極作為塞貝克壓差的輸出極，根據(jù)Seebeck效應(yīng)實(shí)現(xiàn)熱能到電能的轉(zhuǎn)換。該硅基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的MOS器件可以將器件工作產(chǎn)生的熱能轉(zhuǎn)換為電能，實(shí)現(xiàn)能量收集的同時(shí)降低了溫度，有利于散熱。通過(guò)檢測(cè)輸出塞貝克電壓的大小來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)熱耗散功率大小的檢測(cè)。