本發(fā)明公開了一種氧化物半導(dǎo)體生物傳感器、制作方法及使用方法,涉及半導(dǎo)體器件在生物檢測中的應(yīng)用技術(shù)。針對現(xiàn)有電解質(zhì)柵薄膜晶體管型生物傳感器技術(shù)中,電場作用下電解質(zhì)溶液中的離子會通過
電化學(xué)作用侵蝕有源層而導(dǎo)致器件性能不穩(wěn)定的問題提出本方案。主要在于與電解質(zhì)溶液直接接觸的半導(dǎo)體有源層是化學(xué)穩(wěn)定的單晶半導(dǎo)體。優(yōu)點(diǎn)在于避免因晶界產(chǎn)生侵蝕導(dǎo)致的器件性能劣化問題,提高EGTFT傳感器件性能的穩(wěn)定性,對推進(jìn)半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管型生物傳感器件的實(shí)際應(yīng)用具有重要意義。
聲明:
“氧化物半導(dǎo)體生物傳感器、制作方法及使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)