本發(fā)明涉及一種利用噴墨打印技術(shù)制造以二氧 化錫為基薄膜型氣敏器件的方法,屬于金屬氧化物半導(dǎo)體傳感 器氣敏元件制造工藝技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括以下幾個步驟:(1) 制備不同摻雜物質(zhì)的SnO2基前 驅(qū)溶液墨水;(2)進行打印鍍膜,制得各種不同摻雜的 SnO2基薄膜;(3)進行燒結(jié)熱處 理,得到不同摻雜的SnO2基薄 膜型氣敏元件;(4)將制得的 SnO2氣敏元件裝入氣敏
檢測儀, 檢測對乙醇、H2S、 H2、丙酮等多種易燃易爆、有毒 有害氣體的靈敏度。本發(fā)明利用噴墨打印技術(shù)簡單易操作控制 的特點,可方便快速的成型多種不同摻雜成分、不同厚度的 SnO2基薄膜氣敏元件,避免了用 常規(guī)的化學(xué)或物理氣相沉積成膜所需要的復(fù)雜工藝或昂貴設(shè) 備。
聲明:
“噴墨打印制備二氧化錫基薄膜型氣敏器件的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)