帶監(jiān)控的真空鋁膜腐蝕裝置是用于半導(dǎo)體器件平面工藝中有關(guān)鋁及其合金膜的圖形腐蝕的關(guān)鍵設(shè)備。本裝置由真空腐蝕室、終點(diǎn)檢測(cè)器和訊號(hào)處理控制系統(tǒng)三大部分組成,與目前采用的濕法腐蝕工藝相比,具有腐蝕的全過程在低真空室中進(jìn)行的特點(diǎn),能及時(shí)排除腐蝕反應(yīng)生成的氫氣泡。通過
電化學(xué)傳感器進(jìn)行精確的腐蝕終點(diǎn)檢測(cè)與控制,腐蝕分辨率可達(dá)2微米。該裝置從半導(dǎo)體分立元件到超大規(guī)模集成電路的鋁膜腐蝕工藝均適用。
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