本發(fā)明公開了一種可應用于室溫高濕環(huán)境下的納米硅傳感器及其制備方法,采用金屬輔助化學刻蝕法制備垂直排列的光滑硅納米線陣列并去除Ag顆粒,然后在硅納米線陣列表面涂覆AgNO
3進行納米Ag顆粒修飾,之后利用吡咯單體在納米線表面包裹聚吡咯。本發(fā)明的納米銀和聚吡咯雙重修飾的硅納米線在室溫和80%的相對濕度下對200ppb氨氣有精確探測作用,對800ppb氨氣的響應約為1.3倍,對5000ppb氨氣響應約為2.7倍,對15000ppb氨氣響應約為5倍,在腎病呼出氣的待測范圍內(nèi)(820?14700ppb,ESRD平均值為4880ppb),可以實現(xiàn)對患病與否的測量,可應用于早期腎病的檢測診斷。
聲明:
“可應用于室溫高濕環(huán)境下的納米硅傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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