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拉曼增強(qiáng)襯底的制作方法

755   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:57:10
本發(fā)明為一種拉曼增強(qiáng)襯底的制作方法。本發(fā)明將基底(無機(jī)襯底)放入等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的生長(zhǎng)區(qū)域,通入含有碳元素的反應(yīng)源氣體,控制反應(yīng)源氣體的氣壓值為0.01Torr?760Torr;控制基底溫度在300?1200℃,開等離子體電源,設(shè)定等離子體功率為1?1000W,使反應(yīng)源氣體分子裂解,活性基團(tuán)在等離子體的作用下發(fā)生反應(yīng),在基底表面,生成石墨烯量子點(diǎn),通過調(diào)控生長(zhǎng)溫度和生長(zhǎng)時(shí)間,制備不同尺寸的石墨烯量子點(diǎn)拉曼增強(qiáng)襯底。在所制備的拉曼增強(qiáng)襯底表面滴需要檢測(cè)分子的溶液,通過激光拉曼儀器,測(cè)得高靈敏的拉曼增強(qiáng)信號(hào)。本發(fā)明制備的拉曼增強(qiáng)襯底,無污染,靈敏度高,可大面積制備,制備步驟簡(jiǎn)單容易實(shí)現(xiàn)。
聲明:
“拉曼增強(qiáng)襯底的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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