本發(fā)明通過實(shí)施例公開了一種表面處理方法、裝置、存儲介質(zhì)、控制模組及器件;其中的處理方法在分析判斷凸點(diǎn)缺陷BD形成機(jī)理的基礎(chǔ)上,基于SOI結(jié)構(gòu)特點(diǎn)改進(jìn)了制程步驟,使得與表面處理有關(guān)的若干技術(shù)指標(biāo)得以改善;由于引入了第二臭氧處置O3步驟和/或第三紫外光固化UVC步驟,一方面改善了工件表面的化學(xué)成分和穩(wěn)定性;另一方面也改善了工件表面的光潔度和其他物理特性,使得相關(guān)介質(zhì)層的機(jī)械特性更利于整體良率的達(dá)成;此外,本發(fā)明實(shí)施例還給出了改進(jìn)相關(guān)裝置、存儲介質(zhì)、控制模組及器件的技術(shù)方案,促進(jìn)了SOI工藝相關(guān)的表面處理制程和產(chǎn)品的升級。
聲明:
“表面處理方法、裝置、存儲介質(zhì)、控制模組及器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)