本發(fā)明公開(kāi)了一種具有
鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鈦酸鍶鉍微波介電可調(diào)薄膜的制備方法,采用溶膠-凝膠工藝,以分析純的醋酸鍶、硝酸鉍和鈦酸四丁酯為起始原料,冰醋酸和乙二醇乙醚為溶劑,乙酰丙酮為穩(wěn)定劑,合成化學(xué)組成為 BixSr1-1.5xTiO3的鈦酸鍶鉍溶膠先體;利用快速熱處理工藝技術(shù),在基片上制備出具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的鈦酸鍶鉍薄膜。利用鉍對(duì)鈦酸鍶薄膜的微觀結(jié)構(gòu)改性,使薄膜在不降低可調(diào)特性的同時(shí)降低薄膜的介電損耗,提高薄膜的品質(zhì)因子,從而得到新型的、可實(shí)用的微波介電可調(diào)薄膜材料。
聲明:
“微波介電可調(diào)的鈦酸鍶鉍薄膜的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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