本發(fā)明涉及納米操作領域,公開一種面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法。將酒精分析純?nèi)芤号cZnO混合,經(jīng)超聲振蕩和脈沖后,實現(xiàn)ZnO有效分散,即完成預處理。再利用介電泳技術實現(xiàn)對ZnO在微電極上的有效可控裝配。本發(fā)明提出的方法,對ZnO所具有的物理、化學性質(zhì)不會產(chǎn)生任何破壞,可操作性與可重復性強,為ZnO壓電傳感器的制造提供了新的可行技術途徑。
聲明:
“面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)