一種陶瓷微結(jié)構(gòu)
石墨烯氣體傳感器及其制造方法,本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種陶瓷微結(jié)構(gòu)石墨烯氣體傳感器及其制造方法。本發(fā)明是為了解決陶瓷
異質(zhì)材料上石墨烯CVD生長(zhǎng)、修飾困難和傳感器結(jié)構(gòu)尺寸大的問(wèn)題。本發(fā)明采用MEMS工藝技術(shù)在陶瓷異質(zhì)材料基片制作傳感器加熱電阻和信號(hào)輸出電極,采用PVD技術(shù)在基片上制作石墨烯生長(zhǎng)的種子層,用CVD技術(shù)實(shí)現(xiàn)石墨烯在種子層上的生長(zhǎng),用化學(xué)修飾手段實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨的功能化修飾,完成石墨烯氣體傳感器的制備。本發(fā)明的傳感器具有性能高、尺寸小的特點(diǎn),通過(guò)傳感單元的陣列化集成用于多種氣體濃度同時(shí)檢測(cè)。
聲明:
“陶瓷微結(jié)構(gòu)石墨烯氣體傳感器及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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