本發(fā)明公開了一種場效應(yīng)管氫氣傳感器及其制備方法,屬于氣體傳感器領(lǐng)域。主要特點是將氫氣敏感薄膜與場效應(yīng)晶體管進(jìn)行集成,利用場效應(yīng)管將氫氣敏感薄膜與氫氣作用發(fā)生的物理化學(xué)變化轉(zhuǎn)化為電信號,放大實現(xiàn)對低濃度氫氣的檢測。本發(fā)明的氫氣傳感器具有功耗低、靈敏度高和易于集成的特點。
聲明:
“場效應(yīng)管氫氣傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)