本發(fā)明涉及濕電子化學(xué)品技術(shù)領(lǐng)域,且公開了一種用于TFT?LCD顯示屏用ITO蝕刻液,包括以下按重量百分比計(jì)的組分:硫酸10%?20%,添加劑1%?5%,表面活性劑0.05%?0.5%,消泡劑0.01%?0.1%,余量水,所述添加劑為無機(jī)鹽和有機(jī)物的混合物;本發(fā)明所公開的蝕刻液以硫酸為主要成分,生產(chǎn)工藝簡單,酸濃度易于控制及在線檢測;增加了表面活性劑具有表面張力低、無濁點(diǎn)、濕潤力強(qiáng),有效降低ITO蝕刻液的表面張力,蝕刻過程中速率適中;消泡劑能消除蝕刻過程中表面活性劑產(chǎn)生的泡沫,滿足ITO膜蝕刻高精度加工要求,對光阻無破壞作用,對蝕刻線條保護(hù)好,圖形完整;同時(shí)采用的無機(jī)鹽可以調(diào)控蝕刻后ITO斜面坡度,以更好滿足客戶需求。
聲明:
“用于TFT-LCD顯示屏用ITO蝕刻液及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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