本發(fā)明涉及超聲掃描顯微鏡檢測領域和超聲波成像領域，尤其是一種用于超聲掃描顯微鏡的可變頻變焦換能器制作方法，其特征在于：1）利用微機械加工工藝在單晶硅上獲得曲率半徑不同的五個自聚焦曲面；2)采用低壓化學氣相沉積法分別在上述自聚焦曲面上沉積五種不同厚度的ZnO壓電薄膜晶片，薄膜之間相互分開；3）通過單獨引出的電極選擇性激勵各ZnO壓電薄膜晶片，獲得頻率可調(diào)的超聲波；4）將五種不同厚度的壓電薄膜晶片封裝為一個整體，并用SAM電子連接器連接形成變頻變焦的換能器。本發(fā)明通過五種不同曲率半徑的自聚焦曲面獲得五種不同的焦距，并通過各自引出的電極選擇性激勵其中任意厚度的壓電薄膜晶片即可實現(xiàn)超聲換能器的變頻變焦功能。