本發(fā)明是一種基于近場電紡直寫技術(shù)的光柵尺制造裝置及其方法。光柵尺制造裝置包括有XY平面運動平臺(1)、Z軸運動導(dǎo)軌(2)、紡絲噴針(3)、注射器(4)、注射泵(5)、高壓電源(6)、高壓電源控制器(7)、注射泵控制器(8)、Z軸運動控制器(9)、XY運動平臺控制器(10)、電紡控制器(11)、微電流檢測器(12),光柵尺制造裝置能夠根據(jù)想要刻畫光柵柵距,自動調(diào)節(jié)電紡參數(shù)。本發(fā)明光柵尺制造方法包括以下步驟:16)清洗玻璃片并在玻璃片上鍍上一層均勻鉻膜;17)通過電紡的方法按照想要刻的光柵排列在鍍鉻玻璃片上有序電紡直寫聚合物覆蓋線;18)將玻璃片放入化學(xué)溶劑中定形和腐蝕;19)清除電紡覆蓋物。本發(fā)明用電紡直寫的方法取代了傳統(tǒng)光柵尺制造中光刻的過程,可以加工制造出精度非常高的光柵尺。
聲明:
“基于近場電紡直寫技術(shù)的光柵尺制造裝置及其方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)