本發(fā)明公開(kāi)了一種濕制程制作
鎳合金精密零部件的方法,包括以下步驟,S1:基板研磨、S2:貼膜、S3:曝光、S4:顯影、S5:微合金沉積、S6:脫模和超聲波清洗、S7:檢測(cè)組裝;從半導(dǎo)體濕制程蝕刻工藝反相創(chuàng)新,結(jié)合干膜等濕制程以及MEMS鎳合金化學(xué)增材技術(shù),通過(guò)曝光,顯影、微電鑄等復(fù)雜工藝來(lái)生產(chǎn)具有復(fù)雜圖形的高精密零部件;本發(fā)明可以快速、低成本獲得具有復(fù)雜圖形、尺寸精密的二維或三維金屬零部件,在鐘表機(jī)械零件、微電子、航空航天、傳感器等領(lǐng)域應(yīng)用很廣,具有巨大的市場(chǎng)需求。
聲明:
“濕制程制作鎳合金精密零部件的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)