一種合金集流體的高通量篩選方法，包括如下步驟：提供一基片以及至少兩種可形成合金的單質(zhì)元素靶材，該基片上包括多個(gè)樣品區(qū)；按照預(yù)設(shè)樣品靶材沉積比例，通過(guò)磁控濺射鍍膜技術(shù)，在每個(gè)樣品區(qū)同時(shí)制備包括同樣種類(lèi)單質(zhì)元素的交替沉積的薄膜前驅(qū)體，每個(gè)樣品區(qū)中相同層薄膜為同一種單質(zhì)元素，但元素沉積量不同；同時(shí)熱處理多個(gè)樣品區(qū)的多個(gè)多層薄膜前驅(qū)體，以獲得多個(gè)合金相樣品；檢測(cè)樣品相關(guān)物理化學(xué)性質(zhì)，得到每個(gè)樣品對(duì)應(yīng)性質(zhì)數(shù)據(jù)；將每個(gè)樣品區(qū)的樣品元素比例、制備條件數(shù)據(jù)與性質(zhì)數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，以形成樣品數(shù)據(jù)庫(kù)；按照預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)通過(guò)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行樣品數(shù)據(jù)篩選。上述方法可短時(shí)間內(nèi)篩選出所需的合金集流體數(shù)據(jù)。