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微泡集成型法布里帕羅結構諧振腔傳感芯片及其制備方法

921 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:04:30

本發(fā)明屬于光學傳感檢測技術領域，具體為一種微泡集成型法布里帕羅結構諧振腔傳感芯片及其制備方法。本發(fā)明光學傳感芯片包括：兩塊平面反射鏡、中間有中空微泡的石英微管、兩根方形石英管；兩塊平面反射鏡上、下平行放置，兩根方形石英管設置于兩塊平面反射鏡左右兩邊，保證兩塊反射鏡保持高度平行；中空石英微泡設置于兩塊平面反射鏡之間，兩端與平面反射鏡之間粘合固定，形成微泡集成型法布里帕羅結構諧振腔傳感芯片；平面反射鏡表面鍍有特定反射率的金屬薄膜或介質薄膜。本發(fā)明基于微泡的透鏡效應，使傳感芯片具備高靈敏度、低模式體積和高品質因子的特性，同時集成天然的微流通道，實現低濃度化學分子或者無標記生物分子傳感。

聲明：

“微泡集成型法布里帕羅結構諧振腔傳感芯片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)