本發(fā)明提供了一種研磨頭清洗裝置,包括:若干個(gè)清洗支路,每個(gè)所述清洗支路包括:噴霧單元、管道、自動(dòng)閥門(mén)、傳感器、控制單元和清洗液供應(yīng)單元,所述傳感器檢測(cè)到所述研磨頭的側(cè)面是否存有附著物,向所述控制單元輸出反饋信號(hào),基于所述反饋信號(hào),所述控制單元控制所述自動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟或閉合,以控制所述噴霧單元啟動(dòng)與停止。所述噴霧單元啟動(dòng)時(shí),所述噴霧單元向所述研磨頭的側(cè)面噴射清洗液。清洗液對(duì)所述附著物產(chǎn)生物理化學(xué)作用,使得所述附著物從所述研磨頭的側(cè)面掉落。避免在研磨頭在上下料期間或其自身運(yùn)動(dòng)時(shí),所述附著物掉落在研磨墊上,繼而在所述晶圓上造成劃痕或附著顆粒,最終影響晶圓制品的成品率。
聲明:
“研磨頭清洗裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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