本發(fā)明公開了一種基于納米刻蝕的日盲紫外增透膜,屬于薄膜技術(shù)領(lǐng)域,包括以下步驟:(1)選取紫外級熔石英(JGS1)作為基底;(2)基底清洗;(3)真空蒸發(fā)鍍膜法鍍第一層膜;(4)納米刻蝕法優(yōu)化第一層膜;(5)真空蒸發(fā)鍍膜法鍍第二層膜;(6)納米刻蝕法優(yōu)化第二層膜;(7)真空蒸發(fā)鍍膜法鍍第三層膜;(8)納米刻蝕法優(yōu)化第三層膜;(9)冷卻后檢驗包裝。本發(fā)明的日盲紫外增透膜選取適合紫外波段的氟化物,在真空蒸發(fā)鍍膜法的基礎(chǔ)上結(jié)合納米刻蝕法,減小膜面缺陷密度,適合依賴整個紫外波段的探測器,具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性。
聲明:
“基于納米刻蝕的日盲紫外增透膜” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)