本發(fā)明公開了一種基于場效應(yīng)晶體管的氣體傳感器及其制備方法,氣體傳感器包括襯底、絕緣層、有源層、源極和漏極,所述絕緣層設(shè)置在所述襯底和有源層之間,所述源極和漏極分別間隔設(shè)置在所述有源層遠離所述絕緣層的一側(cè),所述有源層的材料為二氧化鈦納米纖維或氧化鋅納米纖維,易于和VOC氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),增強了氣體檢測反應(yīng)速度和靈敏度,且比表面積大,增加了感應(yīng)面積,可在相同的反應(yīng)速度級別和靈敏度精度下將傳感器尺寸做的更小,而且二氧化鈦納米纖維或氧化鋅納米纖維通過靜電紡絲技術(shù)制備,制備方法簡單,靜電紡絲裝置工藝簡單、生產(chǎn)效率高,有利于氣體傳感器在消費電子中的應(yīng)用,以及在更多應(yīng)用場景中的普及。
聲明:
“基于場效應(yīng)晶體管的氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)