本實(shí)用新型公開了一種校正裝置及晶圓傳送裝置,用于校正一晶圓傳送裝置的機(jī)械手臂,所述晶圓傳送裝置用于傳送一晶圓,所述晶圓傳送裝置中具有一轉(zhuǎn)軸,所述轉(zhuǎn)軸支撐一用于吸附所述晶圓的真空吸盤,所述校正裝置包括:一用于發(fā)出一激光的激光頭,所述激光頭位于所述轉(zhuǎn)軸的中心軸上;一校正晶圓;一用于檢測(cè)所述激光的光度計(jì),所述光度計(jì)的接收面的中心點(diǎn)與所述校正晶圓的圓心相重合。本實(shí)用新型通過(guò)提供一校正裝置,為所述晶圓傳送裝置中所述機(jī)械手臂的調(diào)整提供一參照物,能夠直觀、更準(zhǔn)確的調(diào)整所述機(jī)械手臂使所述晶圓傳送位置的中心度更加準(zhǔn)確,提高工作效率;并且不需要通過(guò)在所述晶圓上噴涂化學(xué)品試驗(yàn)來(lái)反復(fù)調(diào)整機(jī)械手臂,節(jié)約成本。
聲明:
“校正裝置及晶圓傳送裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)