本實用新型公開了一種氫氣傳感器芯體,氫氣傳感器芯體依次包括基片、由非晶碳構成的介質層和氫氣敏感層;非晶碳成分簡單,化學性質穩(wěn)定,特別適合制備高穩(wěn)定性、長壽命的電子器件。本實用新型的氫氣傳感器芯體所制備的MOS電容薄膜氫氣傳感器能夠檢測到的氫氣濃度下限達10ppm,而且響應時間和脫氫時間小于25s。
聲明:
“氫氣傳感器芯體” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)