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氧化銦單晶外延薄膜的制備方法

1108   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 08:13:37
本發(fā)明涉及一種氧化銦單晶外延薄膜的制備方法,采用有機金屬化學氣相淀積工藝,以三甲基銦作為有機金屬源,用氮氣作為載氣,用氧氣作為氧化氣體,用有機金屬化學氣相淀積設備在真空條件下在藍寶石襯底上外延生長氧化銦單晶薄膜。該薄膜是具有單晶結構的外延材料,薄膜的載流子遷移率大于30cm2V-1S-1,可見光范圍的平均相對透過率超過85%,在室溫光致發(fā)光譜測量試驗中觀測到帶間躍遷產(chǎn)生的發(fā)光。
聲明:
“氧化銦單晶外延薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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