亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 加工半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的裝置

加工半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的裝置

829   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:13:37
本發(fā)明揭示了一種加工半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的裝置,包括第一機(jī)械手、晶圓緩存臺、第二機(jī)械手、膜厚測量裝置、電化學(xué)拋光腔、清洗腔、預(yù)加熱腔、第三機(jī)械手、干法氣相刻蝕腔及后冷卻腔。第一機(jī)械手在晶圓緩存臺、預(yù)加熱腔及后冷卻腔之間傳送晶圓;晶圓緩存臺放置晶圓;第二機(jī)械手在晶圓緩存臺、膜厚測量裝置、電化學(xué)拋光腔及清洗腔之間傳送晶圓;膜厚測量裝置尋找晶圓上的缺口并測量晶圓上金屬層的厚度;電化學(xué)拋光腔電化學(xué)拋光晶圓;清洗腔清洗和干燥晶圓;預(yù)加熱腔加熱晶圓;第三機(jī)械手在預(yù)加熱腔、干法氣相刻蝕腔及后冷卻腔之間傳送晶圓;干法氣相刻蝕腔干法氣相刻蝕晶圓;后冷卻腔冷卻晶圓。本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,工藝效率高,降低了加工半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的成本。
聲明:
“加工半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記