本發(fā)明公開一種環(huán)保型六氟化硫/氮氣混合氣體分離回收裝置,其特征在于,包括壓力監(jiān)測模塊、三通轉(zhuǎn)換閥、直通閥組、增壓閥組、高真空閥組、化學處理裝置、混合氣體分離裝置和壓縮回收裝置;六氟化硫/氮氣混合氣體氣室通過壓力監(jiān)測模塊連接三通轉(zhuǎn)換閥的入口,三通轉(zhuǎn)換閥的第一出口通過增壓閥組連接混合氣體分離裝置的入口,三通轉(zhuǎn)換閥的第二出口通過直通閥組連接混合氣體分離裝置的入口,三通轉(zhuǎn)換閥的第三出口通過高真空閥組連接混合氣體分離裝置的入口;混合氣體分離裝置的出口依次連接化學處理裝置和壓縮回收裝置。整個分離回收過程全程無泄漏,又可以回收重復利用SF6氣體,既滿足環(huán)保要求,又可以降低生產(chǎn)成本。
聲明:
“環(huán)保型六氟化硫/氮氣混合氣體分離回收裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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