亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 用于修補(bǔ)交替相移掩模的方法

用于修補(bǔ)交替相移掩模的方法

1066   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:14:36
描述用于修補(bǔ)具有底切蝕刻的APSM掩模的方法。利用原子力顯微鏡的針尖來(lái)移除板上的缺陷上方的吸收層以及板上的缺陷的第一部分。利用電子束誘導(dǎo)蝕刻來(lái)移除缺陷的第二部分,該電子束誘導(dǎo)蝕刻包括:在缺陷的第二部分上方引入第一氣體以便形成用于蝕刻缺陷的第一化學(xué)物;以及停留電子束。利用電子束誘導(dǎo)沉積法來(lái)在板上重建具有懸垂結(jié)構(gòu)的吸收層。在板上方引入第二氣體以便形成用于在板上形成不透明材料的第二化學(xué)物。使電子束停留預(yù)定時(shí)間以便誘導(dǎo)在板上形成該不透明材料。對(duì)于一個(gè)實(shí)施例,測(cè)量缺陷的輪廓以便控制蝕刻。
聲明:
“用于修補(bǔ)交替相移掩模的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記